Procedimiento de pulverización catódica de barrido lineal.
Procedimiento para procesar un sustrato mediante pulverización catódica,
que comprende:
colocar una pluralidad de sustratos sobre un transportador;
manejar el transportador de forma que transporte la pluralidad de sustratos a una velocidad constante y en una orientación hacia una diana, de forma que a cualquier tiempo dado, varios sustratos están orientados hacia la diana entre el borde de ataque y el borde de salida;
barrer de forma recíproca una disposición de imanes detrás de la diana al tiempo que sostiene el plasma en un espacio entre la diana y los sustratos, en el que la etapa de barrer de forma recíproca la disposición de imanes se realiza a una velocidad que es, como mínimo, varias veces más rápida que la velocidad constante del transportador, caracterizado por
definir zonas de rotación detrás del borde de ataque y el borde de salida de la diana e invertir el barrido recíproco de la disposición de imanes a puntos diferentes dentro de las zonas de rotación durante barridos diferentes.
Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/US2012/063432.
Solicitante: INTEVAC, INC.
Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.
Dirección: 3560 Bassett Street Santa Clara, CA 95054.
Inventor/es: SHAH, VINAY, BROWN,DAVID WARD, PEDERSON,TERRY, BLUCK,TERRY.
Fecha de Publicación: .
Clasificación Internacional de Patentes:
- C23C14/35 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento. › por aplicación de un campo magnético, p. ej. pulverización por medio de un magnetrón.
PDF original: ES-2637391_T3.pdf
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